Die erste ALD (Atomic Layer Deposition) -Anlage von Beneq® mit dem Kontron AIS-Steuerungs-Framework ToolCommander® wurde beim Endkunden in Betrieb genommen.
Es wurde im Beneq® Hauptsitz in Finnland vorab erprobt und in China kommt das Beschichtungssystem nun in einem Cluster zur Herstellung von OLED-Mikrodisplays zum Einsatz. Neben der Anlagensteuerungslösung mit dem ToolCommander® konnte Kontron AIS auch ein maßgeschneidertes Host-Integrationsprotokoll realisieren.
Der ToolCommander® hat in diesem Projekt wieder seine Stellung als das Steuerungsframework in der Hablbleiterindustrie und für Dünnschichtanwednungen bewiesen. Um die standardkonformen SECS/GEM-Schnittstellen umzusetzen, kann unser FabLink genutz werden.